【業界初】接ガス部フッ素樹脂ライニング施工・ルーツ式ドライ真空ポンプ
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適！
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。
フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。
精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現しました。
半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。
特長
● 接ガス部フッ素樹脂ライニング施工
● フッ素樹脂ライニング300μm以上
● ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に最適
耐薬品性
● フッ化水素
● 塩化水素
● ヨウ化水素etc...
用途
● 半導体
● 製薬、化学
● 高機能材
● 非鉄金属、無機
※腐食性ガスを用いる装置全般
実績
● ヨウ化水素ガス（セラミックス製ポンプから切替）
→VP4-501×5.5kW 1.6m3/min×8.0kPa・A
● 塩化系ガス
→VP4-651×7.5kW 2.67m3/min×0.33kPa・A
※ライニング加工とは、物体の腐食防止や耐摩耗性の向上のため、表面処理を行い保護する加工方法です。
サーフ工業のライニング加工は、厚膜で耐食性・耐久性に優れたフッ素樹脂厚膜焼付ライニング加工をはじめ、シートライニング、回転成形ライニング、静電粉体塗装など、様々な対応が可能です。
